TMC潔凈室光學(xué)平臺(tái)CleanTop 790,我們的790系列、ClassOne™ CleanTop®光學(xué)頂部設(shè)計(jì)是原始CleanTop的一個(gè)擴(kuò)展項(xiàng)，適用于潔凈室。這里指的是100級(jí)潔凈室，與全不銹鋼結(jié)構(gòu)兼容?？筛鶕?jù)偏好提供*大和標(biāo)準(zhǔn)阻尼水平以及不銹鋼CleanTop杯。

TMC無(wú)磁光學(xué)平臺(tái)，TMC的CleanTop光學(xué)頂部采用無(wú)磁性結(jié)構(gòu)，推薦用于需要支撐高強(qiáng)度磁鐵或保持均勻磁場(chǎng)的應(yīng)用。 雖然不銹鋼合金不能100％無(wú)磁性，但316合金頂層、底層和內(nèi)部蜂窩結(jié)構(gòu)可顯著降低鐵磁性能。同時(shí)，側(cè)壁和杯子*全不含鐵。

TMC實(shí)驗(yàn)室級(jí)光學(xué)平臺(tái)，為不太嚴(yán)重的地面振動(dòng)環(huán)境中最不敏感的應(yīng)用提供經(jīng)濟(jì)的性能水平。實(shí)驗(yàn)室級(jí)適用于需要?jiǎng)傂?、平坦安裝表面的一般實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用。

TMC科學(xué)級(jí)光學(xué)平臺(tái)，科學(xué)級(jí)具有與研究級(jí)相同的芯尺寸、密度、CleanTop杯和減少阻尼的全鋼結(jié)構(gòu)等設(shè)計(jì)特點(diǎn)?？茖W(xué)級(jí)阻尼的峰值順應(yīng)性水平比研究級(jí)阻尼的峰值順應(yīng)性水平高出4倍。

TMC研究級(jí)光學(xué)平臺(tái)，提供*佳的光學(xué)頂部性能。研究級(jí)系列具有業(yè)內(nèi)最佳性能，它結(jié)合了最小的單元尺寸、*高的芯密度、*特的CleanTop®設(shè)計(jì)、全鋼結(jié)構(gòu)以及市場(chǎng)上*高水平的結(jié)構(gòu)阻尼。

TMC主動(dòng)消振平臺(tái)系統(tǒng)Stage-Base繼續(xù)在先進(jìn)技術(shù)的基礎(chǔ)上開發(fā)新的解決方案，以滿足半導(dǎo)體工具對(duì)其隔振系統(tǒng)提出的挑戰(zhàn)性要求。Stage-Base 450是專為帶高精度電動(dòng)X-Y平臺(tái)的高級(jí)半導(dǎo)體工具而設(shè)計(jì)的主動(dòng)消振系統(tǒng)。