TMC主動(dòng)消振平臺系統(tǒng)Stage-Base繼續(xù)在先進(jìn)技術(shù)的基礎(chǔ)上開發(fā)新的解決方案，以滿足半導(dǎo)體工具對其隔振系統(tǒng)提出的挑戰(zhàn)性要求。Stage-Base 450是專為帶高精度電動(dòng)X-Y平臺的高級半導(dǎo)體工具而設(shè)計(jì)的主動(dòng)消振系統(tǒng)。

TMC氣浮綜合性主動(dòng)隔振系統(tǒng)，LaserTable-Base™是現(xiàn)有光學(xué)平臺隔振技術(shù)的一大飛躍。通常，光學(xué)平臺由低頻氣動(dòng)隔振系統(tǒng)支撐。雖然在隔離高頻方面非常有效，但這些被動(dòng)系統(tǒng)實(shí)際上放大了關(guān)鍵的1至3 Hz范圍內(nèi)的振動(dòng)。

賽默飛世爾定制版SEM主動(dòng)隔振平臺，SEM-Base-LP是我們的標(biāo)準(zhǔn)SEM-Base主動(dòng)壓電振動(dòng)消除平臺的定制、低剖面版本。SEM-Base-LP更易于安裝，提供*越的性能，并且符合人體工程學(xué)優(yōu)化。

SEM主動(dòng)隔振平臺，SEM-Base®VI是下一代STACIS主動(dòng)壓電消振產(chǎn)品。SEM-Base VI被設(shè)計(jì)用于支撐所有商用掃描電子顯微鏡（SEM）以及許多聚焦離子束（FIB）和小型雙光束儀器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更強(qiáng)大的控制器和高級圖形用戶界面（GUI）。SEM-Base VI使許多實(shí)驗(yàn)室和設(shè)施達(dá)到了滿足工具制造商規(guī)格所需的地面振動(dòng)水平。

TMC地面式主動(dòng)隔振光學(xué)平臺，對于傳統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)室地面，隔離高大工具的建筑地面振動(dòng)是一個(gè)人體工程學(xué)領(lǐng)域的挑戰(zhàn)。將隔振器直接放置在工具下方可能會(huì)將工具抬高到一個(gè)不切實(shí)際的高度。此外，傳統(tǒng)空氣隔振器放置在一個(gè)較高、上重下輕的有效載荷之下時(shí)不穩(wěn)定。

TMC地面式主動(dòng)隔振平臺STACIS Quiet Island半導(dǎo)體制造工廠、納米技術(shù)中心、納米工廠和其他精密制造和研究中心通常將潔凈室與活動(dòng)假地面系統(tǒng)結(jié)合在一起，以滿足復(fù)雜的設(shè)施要求（管道、電纜、燃?xì)夤艿赖龋┖捅３謬?yán)格的清潔標(biāo)準(zhǔn)。這種地面不適用于對振動(dòng)敏感的生產(chǎn)、檢測和計(jì)量設(shè)備?；顒?dòng)地面無法為這些工具提供必要的安靜振動(dòng)環(huán)境。